應(yīng)用領(lǐng)域

本設(shè)備主要用于超精密元件的高度、深度尺寸測(cè)量，采用激光共焦檢測(cè)傳感器對(duì)各類盲孔深度、元件臺(tái)階、平面度進(jìn)行精密測(cè)量，可對(duì)復(fù)雜表面重建基準(zhǔn)面求差，搭配CCD視覺(jué)定位，自動(dòng)上下料快速定點(diǎn)檢測(cè)，可代替光學(xué)三次元；

優(yōu)勢(shì)

*   可搭載多品牌激光共焦傳感器、3D線掃傳感器，速度/精度可選；
*   激光共聚焦掃描參數(shù)針對(duì)深孔采集最優(yōu)化，自研濾噪算法，經(jīng)過(guò)行業(yè)驗(yàn)證；
*   行業(yè)首創(chuàng)，OK/NG復(fù)檢路徑多樣化，XY二維插補(bǔ)掃描，避免孔內(nèi)偏針，PCB來(lái)料偏移，輕微氧化等引起的誤報(bào)；
*   最大化孔徑深比：1比10；
*   PCB平面區(qū)域分段補(bǔ)償功能，減小PCB板彎誤差影響，偏差過(guò)大報(bào)警功能；
*   高精度運(yùn)動(dòng)部件＋全局標(biāo)定補(bǔ)償，XYZ重復(fù)精度0.01mm，滿足1.4米大板雙頭掃描檢測(cè)；
*   搭載復(fù)檢相機(jī)，人工可實(shí)時(shí)觀察孔內(nèi)針腳有無(wú)；

主要參數(shù)

1、檢測(cè)功能：測(cè)量盲孔深度、元件臺(tái)階、平面度、位置度等
2、檢測(cè)效率：激光共焦掃描速度 MAX 40mm/s（1維）
3、分辯率：0.01 um
4、平面尺寸： 1400 x 610 mm (雙工位)

測(cè)量原理

1、彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光，通過(guò)色散鏡頭后，在量程范圍內(nèi) 形成不同波長(zhǎng)的單色光，每個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面反射回來(lái)，只有滿足 共聚焦條件的光，可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到，通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到光的焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，換算獲得距離值。
2、通過(guò)CCD定位引導(dǎo)激光共聚焦頭不停掃描，得到每行截面數(shù)據(jù)。

截面數(shù)據(jù)圖示

測(cè)量原理

應(yīng)用場(chǎng)景

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